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        1. 深圳市中圖儀器股份有限公司

          PRODUCT DISPLAY

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          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡

          參  考  價(jià): 950000

          訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào):VT6100

          品       牌:CHOTEST/中圖儀器

          廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

          所  在  地:深圳市

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          更新時(shí)間:2024-08-05 10:11:24瀏覽次數(shù):508次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
          應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子,交通,汽車,綜合
          VT6000共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡一般用于材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

          中圖儀器VT6000共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡是基于光學(xué)共軛共焦原理,結(jié)合精密縱向掃描,以在樣品表面進(jìn)行快速點(diǎn)掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點(diǎn)并重建出3D真彩圖像,從而進(jìn)行分析的精密光學(xué)儀器,一般用于材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè),可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡

          應(yīng)用領(lǐng)域

          可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。


          VT6000共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),橫向分辨率更高,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡

          產(chǎn)品功能

          1)3D測(cè)量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;

          2)影像測(cè)量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能,可進(jìn)行長(zhǎng)度、角度、半徑等尺寸測(cè)量;

          3)自動(dòng)拼接功能:設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;

          4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

          5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

          6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

          7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

          8)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能,當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長(zhǎng)時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長(zhǎng)光源使用壽命;

          9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。


          不同應(yīng)用場(chǎng)景下的3D形貌

          主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測(cè)中,其次是對(duì)表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測(cè)中。

          3D形貌圖片:

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡

          影像測(cè)量功能界面

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡


          應(yīng)用案例

          1、鐳射槽

          測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導(dǎo)體后道制造中,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè)。

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡


          2、光伏

          在太陽能電池制作工程中,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,直接影響著太陽能電池的性能。VT6000可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè)。此外,太陽能電池制作過程中,制絨作為關(guān)鍵核心工藝,金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡


          3、其他

          共聚焦微觀形貌分析測(cè)量顯微鏡


          儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng)。


          部分技術(shù)指標(biāo)

          型號(hào)VT6100


          行程范圍

          X100mm
          Y100mm
          Z100mm
          外形尺寸
          520*380*600mm
          儀器重量50kg
          測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
          顯微物鏡10×;20×;50×;100×
          視場(chǎng)范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
          高度測(cè)量
          寬度測(cè)量
          XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
          控制方式電動(dòng)
          Z0軸掃描范圍10mm
          物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
          光源白光LED

          懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解。

          如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。


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